近日,瑞典 Ionautics 公司宣布其全新研發(fā)的 HiPSTER 25 緊湊型高性能高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)脈沖電源成功完成首次運(yùn)行。Ionautics 成立于 2010 年,長期深耕于電離物理氣相沉積領(lǐng)域, HiPSTER 25提供高達(dá) 25kW 功率,不僅重新定義了行業(yè)高效運(yùn)行模式,還極大提升了性能與能量效率。其采用的碳化硅(SiC)晶體管成為一大亮點(diǎn)。SiC 作為新型半導(dǎo)體材料,具備耐高溫、高頻率特性以及卓越導(dǎo)電性能。相較于傳統(tǒng)硅基材料,它能夠承受更高工作溫度,擁有更快開關(guān)速度,這大幅提升了能量效率與工藝穩(wěn)定性,有效減少了能量損失和熱管理難題,提供靈活且穩(wěn)定的鍍膜過程,有力確保了鍍膜質(zhì)量的一致性 。
HiPSTER 25 雙極模式
HiPSTER 25搭載的雙極HiPIMS技術(shù),無需基底偏壓即可實現(xiàn)離子加速,簡化工藝步驟,提升鍍膜質(zhì)量與均勻性。通過精確調(diào)控離子能量和方向,它能在各類基材上形成光滑致密的涂層,顯著增強(qiáng)產(chǎn)品耐磨性、耐腐蝕性和光學(xué)性能。此外,該設(shè)備集成豐富的工藝參數(shù)調(diào)整選項,用戶可按需精細(xì)調(diào)節(jié)氣體流量、放電電壓和脈沖頻率等,無論是硬質(zhì)涂層、光學(xué)鍍膜還是電氣涂層,都能實現(xiàn)良好效果。其外部觸發(fā)多個電源的功能,更為復(fù)雜的多層鍍膜和復(fù)合結(jié)構(gòu)鍍膜創(chuàng)造了可能。
新型開關(guān)技術(shù)的應(yīng)用,讓 HiPSTER 25的HiPIMS脈沖頻率達(dá)到150kHz,高頻脈沖不僅提升鍍膜效率,還能促進(jìn)薄膜均勻致密沉積,尤其在處理復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)時優(yōu)勢顯著。增強(qiáng)的脈沖控制功能,可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)脈沖形狀、寬度和能量分布,成為研發(fā)新型材料和優(yōu)化現(xiàn)有工藝的得力工具。
HiPSTER 25 優(yōu)勢
為進(jìn)一步保障鍍膜質(zhì)量,HiPSTER 25集成了Ionautics的反應(yīng)過程控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)實時監(jiān)測和調(diào)節(jié)鍍膜化學(xué)反應(yīng),精確控制鍍膜成分與結(jié)構(gòu),減少缺陷和雜質(zhì),提升鍍膜穩(wěn)定性和沉積率。經(jīng)過廣泛測試和優(yōu)化,HiPSTER 25在反應(yīng)式 HiPIMS 及其他各類磁控管工藝中均表現(xiàn)優(yōu)異。
從具體性能參數(shù)來看,HiPSTER 25輸出平均功率小于 25KW,支持電壓、電流、功率等多種調(diào)節(jié)模式,脈沖電流電弧控制反應(yīng)時間小于2μs;輸入電壓靈活適配100-240VAC,支持RS 232、RS 485等多種遠(yuǎn)程通信方式。無論是單極模式下的高電壓大電流輸出,還是可選的雙極模式和脈沖模式直流,都能滿足多樣化的工藝需求。
廣泛應(yīng)用范圍
HiPSTER 25的應(yīng)用場景廣泛。在擴(kuò)散屏障和電氣涂層制備中,它能增加涂層密度,提升擴(kuò)散屏障阻隔性能,防止材料相互滲透;通過優(yōu)化涂層厚度和熱負(fù)荷,提高導(dǎo)電材料導(dǎo)電性與絕緣體隔離效果,為電子封裝和電力傳輸提供高效方案。在航空航天、醫(yī)療器械和汽車制造等對三維涂層要求嚴(yán)苛的行業(yè),HiPSTER 25憑借出色的鍍膜均勻性,可在復(fù)雜形狀基材上實現(xiàn)薄膜均勻覆蓋,助力高端制造升級。
瑞典Ionautics以推動行業(yè)進(jìn)步為使命,未來,我們將繼續(xù)深耕HiPIMS技術(shù)領(lǐng)域,以HiPSTER 25為新起點(diǎn),持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)品性能,拓展應(yīng)用邊界。同時,我們希望通過HiPSTER 25搭建與全球客戶緊密合作的橋梁,共同探索離子鍍膜技術(shù)。
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